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無油真空泵 潤滑微型真空泵，具有高效節能、安全環保、低噪音的特點，而且運行平穩、高可靠性、長壽命、無油易維護；可廣泛應用于醫療設備、汽車工業、自動控制、分析儀器、生物制藥等領域，是純凈和環保真空的理想選擇。

可編程精密不銹鋼勻膠機，采用高精度工業伺服電機，配置8英寸人機界面，清晰的編程程序界面設置，易學易用。是半導體行業專用儀器設備。適合半導體行業及科研院所，實驗室級的研究開發。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂，可編程不銹鋼勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。

不銹鋼勻膠機HC150P：E可編程勻膠機，采用分體式結構設計，高分子HDPE耐腐蝕內腔，4.3英寸觸摸屏，工業級直流電機及高級PLC控制，直觀清晰的程序界面與設計，美觀大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。 　　不銹鋼勻膠機HC150PE:該勻膠機結構緊湊、簡單易用，可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂內腔，美觀耐腐蝕，經久耐用。

精密旋涂儀：采用高級PLC 全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好?？捎糜谖㈦娮印雽w、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

HC220可編程旋涂儀/勻膠機，采用高精度工業伺服電機，配置8英寸人機界面，清晰的編程程序界面設置，易學易用。適合半導體行業及科研院所，實驗室級的研究開發

HC220PE精密勻膠機 HDPE高分子內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；內腔壁采用凹面設計，有效防濺；可編程寫和存儲100組程序，每組100步