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當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機(jī)/旋涂儀>HC150PE安賽斯勻膠機(jī)

安賽斯勻膠機(jī)

簡要描述:安賽斯勻膠機(jī)HC150PE 采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

  • 產(chǎn)品型號(hào):HC150PE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-04-12
  • 訪  問  量:1772

詳細(xì)介紹

安賽斯勻膠機(jī)

產(chǎn)品介紹:



   稱:安賽斯勻膠機(jī)

   號(hào):HC150PE

應(yīng)    用:安賽斯勻膠機(jī)在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

產(chǎn)品概述:



安賽斯勻膠機(jī),采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級(jí)直流電機(jī)及高級(jí)PLC控制,直觀清晰的程序界面與設(shè)計(jì),美觀大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
  安賽斯勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可編程實(shí)現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,美觀耐腐蝕,經(jīng)久耐用。

性能參數(shù):



  • 適用晶元尺寸范圍:? 5~150mm;

  • 旋涂速度:100~12000rpm

  • 轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

  • 旋涂加速度:100-30000rpm/s

  • 最大旋涂時(shí)間:3000s

  • 旋涂時(shí)間精度:0.1s

  • 內(nèi)腔直徑212mm,內(nèi)腔采用凹面防濺設(shè)計(jì);

  • 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

  • 電源輸入:AC200-230

產(chǎn)品特點(diǎn):



  • 設(shè)計(jì)緊湊,可輕松放置在手套箱內(nèi)使用;

  • HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,耐腐蝕;

  • 采用分體式結(jié)構(gòu),易清潔和移動(dòng);

  • 4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用;

  • 精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示;

  • 經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;

  • 采用高級(jí)PLC程序控制,可編程,實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂;

  • 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通設(shè)計(jì);

  • 具有真空不足提示及保護(hù)功能,具有斷電后參數(shù)自動(dòng)保存功能。

  • 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;

  • 帶真空度安全互鎖檢測(cè)功能;

  • 帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng);


                           HDPE高分子耐腐蝕內(nèi)腔

            不同尺寸的載物盤

產(chǎn)品外型尺寸:
    310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)



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